中国MOCVD设备国产化发展现状及前景展望-【新闻】

中国MOCVD设备国产化发展现状及前景展望

作为生产LED芯片的关键设备，MOCVD设备市场一直为欧美企业所垄断。近日，国产MOCVD设备纷纷出炉。在LED外延芯片领域相对不景气的情况下，当前国内现有的进口MOCVD设备产能利用率仅为五成左右，国产设备还能分到一杯羹吗？

阶段性成果打破国外垄断

具有自主知识产权的MOCVD设备国产化成功，意味着相关技术长期被国外垄断的局面将被打破，国内LED自主产业生态链也将更加完善。

近日，有关MOCVD设备国产化的好消息不断传来。2012年12月6日，上海理想能源有限公司研制开发的MOCVD设备成功下线，并与客户签订了37台设备的应用验证合同。12月12日，中晟光电设备(上海)有限公司在客户的多次实地考察、亲临操作设备和验证各项工艺的基础上，成功发运中国首台具有世界先进水平的大型国产MOCVD设备。12月27日，广东昭信集团二代量产型MOCVD设备通过广东省科技厅专家组鉴定，该设备比其在2010年推出的第一代设备在产出率和可靠性等方面都有显著提升，而价格仅为进口设备的一半。2013年1月12日，光达光电设备科技(嘉兴)有限公司宣布，其研发生产的MOCVD设备通过了量产120流明/瓦的工艺能力验证，并与国内外公司达成多项长期供货意向。

LED是重要的新型绿色光源产品，而MOCVD设备是整个LED照明产业链中最关键的制造装备。一台进口MOCVD设备的售价目前约为1500万元，其成本占整个芯片设备成本的50%左右。由于技术含量高，制造工艺复杂，目前全球的MOCVD设备市场主要被两家国外设备供应商AIXTRON和VEECO所垄断。

为打破国内LED产业受制于人的局面，《半导体照明科技发展“十二五”专项规划》明确提出，“十二五”期间将“实现大型MOCVD设备及关键配套材料的国产化”。为此，从2011年开始，国内多家LED设备企业开始尝试推出国产化MOCVD设备。截至2012年年中，国内已有17家企业涉足MOCVD设备的研发。

北方微电子公司总裁赵晋荣认为，目前国内LED高端工艺国产化设备已取得初步进展，但是国产MOCVD设备依旧任重道远。这些具有自主知识产权的MOCVD设备国产化成功，意味着相关技术长期被国外垄断的局面将被打破，国内LED自主产业生态链也将更加完善。但是，我们也应该清晰地认识到，这还仅仅是一个阶段性成果，在实现MOCVD设备国产化战略目标的征途上，我们还将面临各种挑战，在不断提高性能以满足生产需要的同时，国产设备还需得到市场的检验与认可。

解过剩之困需步步为营

未来3～5年内，国内对MOCVD设备的需求量将激增至3000台。设备企业不能急于求成，应步步为营，逐步扩大产销量。

2012年是中国LED芯片产业最为艰苦的一年。产能严重过剩，价格持续下跌成为行业基调。GLII数据显示，2010年和2011年，中国共引进了MOCVD设备680台，截至2012年11月底，国内量产MOCVD设备数量为909台，其中2012年新增的设备数量为106台，仅为2011年新增数量的1/5。然而，市场实际需求与预期相差甚远，大多数机台未能按时投产。目前，国内MOCVD设备平均投产率不到六成，产能利用率仅为五成左右。

为此，部分业内人士不禁为国产MOCVD设备的生存空间担忧：经过了一轮疯狂采购之后，又遭遇不景气的市场，外延芯片厂家还有心思去定制新的MOCVD设备吗？生不逢时的国产设备如何在竞争激励的市场中立足？“‘生不逢时’的说法绝对是不正确的，”光达光电首席技术官梁秉文博士在接受《中国电子报》记者采访时表示，“就市场空间来说，其实完全不是问题，关键是国内设备生产企业要做好规划。”据最新市场研究数据，随着LED照明应用的飞速发展，预计 2013年国内对MOCVD设备的需求在300台左右，而在未来3～5年内，需求量更将激增至3000台。梁秉文表示，国内市场是存在的，但是设备企业也不能急于求成，应步步为营，逐步扩大产销量。据悉，光达光电今年的销售预期为5～10台。

“国产MOCVD设备的市场机会将会不断出现。”赵晋荣表示，“但是MOCVD设备不能仅是模仿，必须有创新，国产MOCVD设备厂商的出路就是练好内功。”

不能为了国产化而国产化，国产MOCVD设备要真正为客户解决问题，创造属于自己的价值。中国照明电器协会副理事长兼秘书长陈燕生表示，《半导体照明科技发展“十二五”专项规划》提出实现大型MOCVD设备及关键配套材料的国产化，为国产MOCVD设备行业勾勒出了美好的愿景，在中央和地方政府一直以来的大力扶持下，美好愿景能否实现，更要靠企业自身努力。

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